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电子特种气体管道系统的配置规范及要求

颁布功夫：：：2022-08-24 | 观光：：：4543

内容提要：：：特种气体输送系统的配置有哪些划定?

特种气体输送系统的配置有哪些划定?

特种气体输送系统极度讲求安全，，，对设备配置有好多规范，，，在操作设计上也有好多的要求，，，这里重要介绍下特种气体输送系统设备配置规范及特气系统安全要求。。。

特种气体输送系统概述

在现代半导体、、、科研尝试室、、、综合厂房的集中供气系统中，，，气瓶柜、、、气瓶架已经成为钢瓶气体的标配，，，那么这些GR、、、GC的配置有什么要求呢?相信好多业主和用户并没有一个清澈的概念，，，只有相识了规范化的要求，，，能力在厂房、、、尝试室的建设中合理规划布局、、、安全使用。。。

特种气体输送系统设备配置规范

电子特气管道系统

1、、、GC、、、GR可选取单工艺气瓶外置吹扫氮气(源)瓶(单瓶式)、、、双工艺气瓶外置吹扫氮气、、、双工艺气瓶内置吹扫氮气等多种结构配置。。。

2、、、GC、、、GR 应设置作业用气面子板。。。

3、、、系统的供给能力应经过热力学和流体力学推算核实。。。

4、、、气瓶柜闭门时应维持不低于100Pa负压，，，柜内的排风换气次数不得低于300次/H 。。。

5、、、GC板材厚度不得低于2.5mm，，，并有放侵蚀涂层。。。

6、、、GC门应具备自动关闭职能，，，并建设防爆玻璃观察窗，，，地脚螺栓设计应满足本地地震设防烈度的要求。。。

电子特气管道系统

特气系统安全要求

1、、、不相容气体瓶严禁搁置于统一气瓶柜或气瓶架中。。。

2、、、天然性、、、可燃性、、、毒性、、、侵蚀性气瓶柜应在排风出口设置气体泄露侦测器。。。

3、、、GC、、、GR应设置清澈明确的安全标识牌

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