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¡¡1¡¢¡¢¡¢Ì«ÑôÄܵç³ØµÄÀûÓà ¡¡¡¡1839Äê·¨¹ú¿Æѧ¼ÒE Becquerel·¢ÏÖÒºÌåµÄ¹âÉú·üÌØЧӦ(¼ò³Æ¹â·üЧӦ) ¡£¡£1954Äê, ÃÀ¹ú±´¶ûʵ ÑéÊÒÑÐÖƳöµ¥¾§¹èÌ«ÑôÄܵç³Ø¡£¡£Ì«ÑôÄܵç³ØµÄµÀÀíÊÇ»ùÓÚ°ëµ¼ÌåµÄ¹â·üЧӦ, ½«Ì«Ñô·øÉäÖ±½Óת»»³É µçÄÜ¡£¡£ÔÚpn½áµÄÄÚ½¨µç³¡×÷ÓÃÏÂ, nÇøµÄ¿ÕѨÏòpÇø»î¶¯, ¶øpÇøµÄµç×ÓÏònÇø»î¶¯, Ôì³ÉÔÚÌ«ÑôÄܵç³Ø ÊܹâÃæ(ÉÏÀíÂÛ) ÓдóÁ¿¸ºµçºÉ(µç×Ó) ¶Ñ¼¯, ¶øÔÚµç³Ø±³¹âÃæ(ÏÂÀíÂÛ) ÓдóÁ¿ÕýµçºÉ(¿ÕѨ) ¶Ñ¼¯¡£¡£ÈçÔÚ µç³ØÉÏ¡¢¡¢¡¢ÏÂÀíÂÛ×öÉϽðÊôµç¼«, ²¢Óõ¼Ïß½ÓÉϸºÔØ, ÔÚ¸ºÔØÉϾÍÓеçÁ÷ͨ¹ý¡£¡£Ö»ÓÐÌ«Ñô¹âÕÕ²»ÐÝ, ¸ºÔØ ÉϾÍÒ»ÏòÓеçÁ÷ͨ¹ý¡£¡£Ì«ÑôÄܵç³ØµÄÀûÓÃÊ×ÏÈÊÇÔÚÌ«¿ÕÁìÓò¡£¡£1958Äê, ÃÀ¹úÊ׿ÅÒÔÌ«ÑôÄܵç³Ø×÷ΪÐÅ ºÅϵͳµçÔ´µÄÎÀÐÇÇ°·æÒ»ºÅ·¢ÉäÉÏÌì¡£¡£Ëæºó, Ì«ÑôÄܵç³ØÔÚÕÕÃ÷¡¢¡¢¡¢ÐźŵÆ¡¢¡¢¡¢Æû³µ¡¢¡¢¡¢µçÕ¾µÈÁìÓò±»¿í·º Ñ¡È¡¡£¡£³ö¸ñÊÇÓëµÍÎÂÓëÌØÆøLED¼¼ÊõµÄ½áºÏ, ¸øÌ«ÑôÄܵç³ØµÄ±é¼°´øÀ´Á˾޴óDZÁ¦¡£¡£ ¡¡

¡¡2¡¢¡¢¡¢¾§Ìå¹èÌ«ÑôÄܵç³Ø³ö²ú¹¤ÒÕºÍÆøÌåÀûÓà ¡¡¡¡Ã³Ò×»¯³ö²úµÄ¾§Ìå¹èÌ«ÑôÄܵç³Øͨ³£Ñ¡È¡¶à¾§¹è×ÊÁÏ¡£¡£¹èƬ¾­¹ýÇÖÊ´ÖÆÈÞ, ÔÙÖÃÓÚÀ©É¢Â¯Ê¯Ó¢¹Ü ÄÚ, ÓÃPOCl3 À©É¢Á×Ô­×Ó, ÒÔÔÚpÐ͹èƬÉÏÐγÉÉî¶ÈÔ¼015¦Ìm ×óÓÒµÄn Ð͵¼µçÇø, ÔÚ½çÃæÐγÉpn½á¡£¡£Ëæ ºó½øÐеÈÀë×Ó¿ÌÊ´¿Ì±ß, È¥³ýÁ׹貣Á§¡£¡£½Ó×ÅÔÚÊܹâÃæÉÏͨ¹ýPECVDÖÆ×÷¼õ·´ÉäĤ, ²¢Í¨¹ýË¿ÍøÓ¡Ë¢ ÉսṤÒÕÖÆ×÷¸ßµÍµç¼«¡£¡£ ¡¡

¡¡¾§Ìå¹èµç³ØƬ³ö²úÖеÄÀ©É¢¹¤ÒÕÓõ½POCl3 ºÍO2¡£¡£¼õ·´Éä²ãPECVD¹¤ÒÕÓõ½SiH4¡¢¡¢¡¢NH3 , ¿ÌÊ´ ¹¤ÒÕÓõ½CF4¡£¡£Æä²úÉúµÄ»¯Ñ§·´Ó³±ðÀëΪ: ¡¡¡¡

  POCl3 +O2 ¡ú P2O5 +Cl2 ¡¡¡¡

  P2O5 + Si ¡ú SiO2 + P ¡¡

  SiH4 + NH3 ¡ú SiNx:H +H2 ¡¡

  CF4 + O2 + Si ¡ú SiF4 + CO2 ¡¡

¡¡3¡¢¡¢¡¢±¡Ä¤Ì«ÑôÄܵç³Ø³ö²ú¹¤ÒÕºÍÆøÌåÀûÓà ¡¡¡¡Ã³Ò×»¯³ö²úµÄ±¡Ä¤Ì«ÑôÄܵç³Ø·ÖΪ·Ç¾§¹è( a2Si) ±¡Ä¤ºÍ·Ç¾§/΢¾§¹è( a2Si /¦Ìc2Si) µþ²ã±¡Ä¤¡£¡£º£ºó Õ߶ÔÌ«Ñô¹âµÄÎüÊÕÀûÓøü³ä·Ö¡£¡£Æä³ö²ú¹¤ÒÕÊÇÔÚ²£Á§»ù°åÉÏÖÆ×÷ͨÃ÷µ¼µçĤ( TCO) ¡£¡£Í¨³£Í¨¹ý½¦Éä »òLPCVDµÄ²½Öè¡£¡£¶øºóÔÙͨ¹ýPECVD²½Öè³Á»ýpÐÍ¡¢¡¢¡¢iÐͺÍnÐͱ¡Ä¤¡£¡£ÔÙÓý¦Éä×ö±³µç¼«¡£¡£ ¡¡

¡¡·Ç¾§¹èÌ«ÑôÄܵç³ØÔÚLPCVD³Á»ýTCO¹¤ÐòÓõ½DEZn¡¢¡¢¡¢B2H6 ; ·Ç¾§/΢¾§¹è³Á»ý¹¤ÐòÓõ½SiH4¡¢¡¢¡¢ PH3 /H2¡¢¡¢¡¢TMB /H2¡¢¡¢¡¢CH4¡¢¡¢¡¢NF3 µÈ¡£¡£Æä²úÉúµÄ»¯Ñ§·´Ó³±ðÀëΪ£º£º µç»° µØͼ ÁôÑÔ¡¡¡¡

  Zn (C2H5 ) 2 + H2O ¡ú C2H6 + ZnO ¡¡¡¡

  SiH4 + CH4 ¡ú a2SiC: H + H2 ¡¡¡¡

  SiH4 ¡ú a2Si: H  

´ËÄÚÈÝÆðÔ´ÓÚÍøÂ磬£¬£¬ÈçÓÐÇÖȨ£¬£¬£¬ÇëÁªÏµÉ¾³ý